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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| Õæ¿ÕÕô¶Æ | 100-500 | 10-30 | ÖÐµÈ | µ¼µçÐԺà |
| ´Å¿Ø½¦Éä | 200-800 | 20-50 | ½Ï¸ß | ÖÂÃÜÐÔÇ¿ |
| Ë¿ÍøÓ¡Ë¢ | 5-20 ¦Ìm | >100 | µÍ | ±¾Ç®µÍ |
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|---|---|---|---|
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| µÈÀë×Ó´¦Àí | 45-50 | 30-40 | [2] |
| ×ÏÍâ³ôÑõ´¦Àí | 40-48 | 20-35 | [3] |
ÎÄÏ×ÒýÓÃ˵Ã÷£º
[1] Zhang et al., Surface and Coatings Technology, 2018
[2] Li et al., Applied Surface Science, 2019
[3] Kim et al., Journal of Materials Chemistry C, 2020
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|---|---|---|---|
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| ζȣ¨¡æ£© | 100 | 0.75 | [4] |
| ʱ¼ä£¨min£© | 10 | 0.50 | [5] |
| ʱ¼ä£¨min£© | 30 | 0.80 | [5] |
ÎÄÏ×ÒýÓÃ˵Ã÷£º
[4] Wang et al., Thin Solid Films, 2021
[5] Zhao et al., Materials Letters, 2022
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|---|---|---|---|
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| »·ÑõÊ÷Ö¬£¨EP£© | ¼ÓÈȹ̻¯ | 1.2-1.5 | Ç¿¶È¸ßµ«´à |
| ¹è½º£¨Si£© | ÊÒÎÂ/¼ÓÈÈ | 0.8-1.1 | Ä͸ßΠ|
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|---|---|---|---|
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£¨Êý¾ÝȪԴ£ºµÂ¹ú°Í˹·ò¹«Ë¾ÊÖÒհׯ¤Ê飬£¬£¬£¬£¬2020£©
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| ²âÊÔÏîÄ¿ | ²ÎÊýÉ趨 |
|---|---|
| °þÀë½Ç¶È | 180¡ã |
| ÀÉìËÙÂÊ | 300 mm/min |
| ÑùÆ·¿í¶È | 25 mm |
| ÎÂʪ¶ÈÇéÐÎ | 25¡ãC, 60% RH |
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| »ù²ÄÀàÐÍ | ƽ¾ùÕ³ºÏÇ¿¶È£¨MPa£© | ±ê×¼²î |
|---|---|---|
| °±ÂÚµ¥Ãæ²¼ | 0.62 | 0.05 |
| ¾Ûõ¥/°±ÂÚÂÞÎÆ²¼ | 0.75 | 0.04 |
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| ³Á»ý·½Ê½ | ƽ¾ùÕ³ºÏÇ¿¶È£¨MPa£© | ±ê×¼²î |
|---|---|---|
| Õæ¿ÕÕô¶Æ | 0.60 | 0.03 |
| ´Å¿Ø½¦Éä | 0.85 | 0.04 |
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| Õ³ºÏ¼ÁÀàÐÍ | ƽ¾ùÕ³ºÏÇ¿¶È£¨MPa£© | ±ê×¼²î |
|---|---|---|
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|---|---|---|
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