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| ¹ýÂ˾«¶È | 0.1¦Ìm – 100¦Ìm |
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| ÊÂÇéÎÂ¶È | -20¡æ – 120¡æ |
| ÊÂÇéѹÁ¦ | 0.1MPa – 1.0MPa |
| ½Ó¿ÚÀàÐÍ | ¿¨¿Ûʽ¡¢ÂÝÎÆÊ½ |
| Ä£¿£¿£¿éÊýÄ¿ | 3 – 5¸ö |
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